關(guān)于光學(xué)平臺的功能特點(diǎn)概述

光學(xué)平臺追求水平，加工的時(shí)候整個(gè)臺面是很平的。之后臺面置放與四個(gè)聯(lián)通的氣囊上，以保證臺面水平。臺面上布滿(mǎn)成正方形排列的工程螺紋孔，用這些孔和相應的螺絲可以固定光學(xué)元件。這樣，當你完成光學(xué)設備的搭建，系統基本不會(huì )受外來(lái)擾動(dòng)而產(chǎn)生變化。即使按動(dòng)臺面，它也會(huì )因為氣囊而自動(dòng)回復水平。

好的平臺和面包板應具有全鋼結構，包括厚5毫米的頂板和底板，以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過(guò)精確的壓膜工具制成，通過(guò)焊接平墊片保證其幾何間距。平臺和面包板中的蜂窩芯結構從頂板一直延伸到底板，中間無(wú)過(guò)渡層，從而構成更加堅固、熱穩定性更強的平臺產(chǎn)品。

隨著(zhù)設備和工藝的發(fā)展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領(lǐng)域，已生產(chǎn)出線(xiàn)寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準確率小于50納米的精度要求。

　　這樣的應用對系統中不同元件相關(guān)配合精度和穩定性提出了很高的要求。

　　例如，用顯微鏡對圖像進(jìn)行高度放大的成像系統，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像。如果，在曝光過(guò)程中光學(xué)系統的每一部分(照明系統、樣品、顯微鏡光學(xué)系統、成像光學(xué)系統和相紙平面)都精確地一同移動(dòng)，不存在相對位移，成像也會(huì )很清晰。如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動(dòng)，則像就會(huì )模糊。在光學(xué)干涉測量、全息及運用相似的規律時(shí)，控制相對運動(dòng)都是很重要的。

　　在一個(gè)**的剛性體內部(只在理論上存在)，任何兩點(diǎn)的相對位置都是不變的。也就是說(shuō)，在振動(dòng)、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實(shí)體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩固地連接成一個(gè)理想的剛性體，不同元件之間沒(méi)有相對位移，系統的性能也會(huì )很穩固。

　　**的剛性體是不存在的?，F實(shí)中的系統只能近似的認為是剛性的，因此，其穩定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源，系統的重量，光學(xué)平臺的結構等等。